Taŭga por Hitachi KM11 Oilprema Sensilo EX200-2-3-5

Kvar premaj teknologioj de prema sensilo

1. Kapacita

Kapablaj premaj sensiloj estas kutime favoritaj de granda nombro da profesiaj aplikoj OEM. Detekti kapacitajn ŝanĝojn inter du surfacoj ebligas ĉi tiujn sensilojn senti ekstreme malaltan premon kaj vakuajn nivelojn. En nia tipa sensa agordo, kompakta loĝejo konsistas el du proksime interspacigitaj, paralelaj kaj elektre izolitaj metalaj surfacoj, unu el ili estas esence diafragmo, kiu povas iomete fleksiĝi sub premo. Ĉi tiuj firme fiksitaj surfacoj (aŭ platoj) estas muntitaj tiel ke la fleksado de la muntado ŝanĝas la interspacon inter ili (efektive formanta ŝanĝiĝeman kondensilon). La rezulta ŝanĝo estas detektita per sentema lineara kompara cirkvito kun (aŭ ASIC), kiu amplifas kaj eligas proporcian altnivelan signalon.

2.CVD -tipo

Kemia vaporo-deponejo (aŭ "CVD") fabrikada metodo ligas polisilicon-tavolon al neoksidebla ŝtala diafragmo ĉe molekula nivelo, tiel produktante sensilon kun bonega longtempa driva agado. Oftaj metodoj pri fabrikado de semikonduktaĵoj de oftaj batoj estas uzataj por krei pontilicon -streĉajn pontojn kun bonega agado je tre akceptebla prezo. CVD -strukturo havas bonegan kostan rendimenton kaj estas la plej populara sensilo en OEM -aplikoj.

3. Sputtering Film Tipo

Sputtering Film Deposition (aŭ "Filmo") povas krei sensilon kun maksimuma kombinita lineareco, histerezo kaj ripetebleco. La precizeco povas esti tiel alta kiel 0,08% de plena skalo, dum la longtempa drivo estas tiel malalta kiel 0,06% de plena skalo ĉiujare. Eksterordinara agado de ŝlosilaj instrumentoj-OUR Sputtered Thin Film Sensor estas trezoro en la prema sentanta industrio.

4.MMS -Tipo

Ĉi tiuj sensiloj uzas mikro-maŝinajn silikajn (MMS) diafragmon por detekti premajn ŝanĝojn. La silicia diafragmo estas izolita de la mezo per la oleo-plena 316SS, kaj ili reagas en serio kun la proceza fluida premo. MMS -sensilo adoptas oftan semikonduktaĵan fabrikan teknologion, kiu povas atingi altan tensian reziston, bonan linearecon, bonegan termikan ŝokan rendimenton kaj stabilecon en kompakta sensa pakaĵo.