La ofte uzata semikonduktaĵa prema sensilo uzas N-specan silician ondeton kiel la substraton. Unue, la silicio-ondeto fariĝas en elasta streĉa parto kun certa geometrio. Ĉe la streĉa parto de la silicia vakso, kvar P-tipaj disvastigaj rezistiloj estas faritaj laŭ malsamaj kristalaj direktoj, kaj tiam kvar-brako Wheatstone-ponto formiĝas kun ĉi tiuj kvar rezistiloj. Sub la ago de ekstera forto, la ŝanĝoj de rezistaj valoroj fariĝas elektraj signaloj. Ĉi tiu tritika ponto kun prema efiko estas la koro de la prema sensilo, kiu estas kutime nomata piezoresista ponto (kiel montras Figuro 1). La trajtoj de piezoresista ponto estas kiel sekvas: ① La rezistaj valoroj de la kvar brakoj de la ponto egalas (ĉiuj R0); ② La piezoresista efiko de apudaj brakoj de la ponto egalas en valoro kaj kontraŭa en signo; ③ La rezista temperatur -koeficiento de la kvar brakoj de la ponto estas la sama, kaj ili ĉiam estas ĉe la sama temperaturo. En fig. 1, R0 estas la rezista valoro sen streĉo ĉe ĉambra temperaturo; RT estas la ŝanĝo kaŭzita de la temperatura koeficiento de rezisto (α) kiam la temperaturo ŝanĝiĝas; Υ rΔ estas la ŝanĝo de rezisto kaŭzita de streĉo (ε); La elira tensio de la ponto estas u = i0 Δ rδ = i0rgδ (konstanta aktuala fonta ponto).

Kie I0 estas konstanta kurento kurento kaj E estas konstanta tensia fonto -tensio. La elira tensio de la piezoresista ponto estas rekte proporcia al la streĉo (ε) kaj havas nenion komunan kun RT kaŭzita de la temperatura koeficiento de rezisto, kiu multe reduktas la temperaturon de la sensilo. La plej vaste uzata semikonduktaĵa prema sensilo estas sensilo por detekti fluidan premon. Ĝia ĉefa strukturo estas kapsulo farita el monokristala silicio (kiel montrite en Figuro 2). La diafragmo estas farita en tason, kaj la fundo de la taso estas la parto, kiu portas la eksteran forton, kaj la prema ponto estas farita sur la fundo de la taso. La ringa piedestalo estas farita el la sama silicia ununura kristala materialo, kaj tiam la diafragmo estas ligita al la piedestalo. Ĉi tiu speco de prema sensilo havas la avantaĝojn de alta sentiveco, malgranda volumo kaj solideco, kaj estis vaste uzata en aviado, spaca navigado, aŭtomataj instrumentoj kaj medicinaj instrumentoj.