Strukturo de Piezorrezista Sensilo

En ĉi tiu sensilo, la rezistostrio estas integrita sur la monokristalina silicia diafragmo per integriga procezo por fari silician piezoresistivan blaton, kaj la periferio de ĉi tiu blato estas fikse enpakita en la ŝelo, kaj la elektrodaj kondukoj estas elkondukitaj. Piezorrezista premosensilo, ankaŭ konata kiel solidsubstanca premosensilo, estas diferenca de glua streĉa mezurilo, kiu bezonas senti la eksteran forton nerekte tra elastaj sentemaj elementoj, sed rekte sentas la mezuran premon per silicia diafragmo.

Unu flanko de la silicia diafragmo estas altprema kavaĵo komunikanta kun la mezurita premo, kaj la alia flanko estas malaltprema kavaĵo komunikanta kun la atmosfero. Ĝenerale, la silicia diafragmo estas desegnita kiel cirklo kun fiksa periferio, kaj la rilatumo de diametro al dikeco estas ĉirkaŭ 20 ~ 60. Kvar P malpurecrezistaj strioj estas disvastigitaj loke sur la cirkla silicia diafragmo kaj konektitaj en plenan ponton, du el kiuj estas en la kunprema streszono kaj la aliaj du estas en la tirstreĉa zono, kiuj estas simetriaj kun respekto al la centro de la diafragmo.

Krome, ekzistas ankaŭ kvadrata silicia diafragmo kaj silicia kolumna sensilo. La silicia cilindra sensilo ankaŭ estas farita el rezistemaj strioj per disvastigo en certa direkto de kristala ebeno de la silicia cilindro, kaj du streĉaj streĉaj rezistaj strioj kaj du kunpremaj streĉaj rezistaj strioj formas plenan ponton.

Piezoresistiva sensilo estas aparato farita per difuzrezisto sur la substrato de duonkondukta materialo laŭ la piezoresistiva efiko de duonkondukta materialo. Ĝia substrato povas esti rekte uzata kiel mezursensilo, kaj la difuzrezisto estas konektita en la substrato en formo de ponto.

Kiam la substrato estas misformita de ekstera forto, la rezistvaloroj ŝanĝiĝos kaj la ponto produktos respondan malekvilibran eliron. La substratoj (aŭ diafragmoj) utiligitaj kiel piezoresistive-sensiloj estas plejparte silicioblatoj kaj germaniumoblatoj. Siliciaj piezoresistive-sensiloj faritaj el siliciaj oblatoj kiel sentemaj materialoj altiris pli kaj pli da atento, precipe la solidsubstancaj piezoresistive-sensiloj por mezuri premon kaj rapidecon estas la plej vaste uzataj.