Strukturo de piezoresista sentilo

En ĉi tiu sensilo, la rezista strio estas integrita sur la monokristala silicia diafragmo per integriĝa procezo por fari silician piezoresistan blaton, kaj la periferio de ĉi tiu blato estas fikse enpakita en la ŝelo, kaj la elektrodaj kondukiloj estas ellasitaj. Piezoresista prema sensilo, ankaŭ konata kiel solid-ŝtata prema sensilo, diferencas de vosta streĉa mezurilo, kiu bezonas senti la eksteran forton nerekte tra elastaj sentemaj elementoj, sed rekte sentas la mezuritan premon per silicia diafragmo.

Unu flanko de la silicia diafragmo estas altprema kavo komunikanta kun la mezurita premo, kaj la alia flanko estas malaltprema kavo komunikanta kun la atmosfero. Ĝenerale, la silicia diafragmo estas desegnita kiel cirklo kun fiksa periferio, kaj la rilatumo de diametro al dikeco estas ĉirkaŭ 20 ~ 60. Kvar p malpura rezista strio estas disvastigita surloke sur la cirkla silicia diafragmo kaj konektita en plenan ponton, du el kiuj estas en la streĉa zono kaj la alia en la streĉa zono de la alia.

Krome, estas ankaŭ kvadrata silicia diafragmo kaj silicia kolumna sensilo. La silicia cilindra sensilo ankaŭ estas farita el rezistivaj strioj per disvastigo en certa direkto de kristala ebeno de la silicia cilindro, kaj du streĉaj streĉaj rezistaj strioj kaj du kunpremaj streĉaj strioj formas plenan ponton.

Piezoresista sensilo estas aparato farita per disvastiga rezisto sur la substrato de duonkondukta materialo laŭ la piezoresista efiko de duonkondukta materialo. Ĝia substrato povas esti rekte uzata kiel mezuranta sensilo, kaj la disvastiga rezisto estas konektita en la substrato en formo de ponto.

Kiam la substrato estas deformita per ekstera forto, la rezistaj valoroj ŝanĝiĝos kaj la ponto produktos respondan malekvilibron. La substratoj (aŭ diafragmoj) uzataj kiel piezoresistaj sensiloj estas ĉefe siliciaj vafoj kaj germanaj vafoj. Silici-piezoresistaj sensiloj faritaj el siliciaj vafoj ĉar sentemaj materialoj altiris pli kaj pli da atento, precipe la solidŝtataj piezoresistaj sensiloj por mezuri premon kaj rapidon estas la plej uzataj.