Semikonduktaĵaj premsensiloj povas esti dividitaj en du kategoriojn, unu estas bazita sur la principo ke I-υ karakterizaĵoj de duonkonduktaĵo PN-krucvojo (aŭ schottky-krucvojo) ŝanĝiĝas sub streso. La agado de ĉi tiu premo-sentema elemento estas tre malstabila kaj ne multe disvolviĝis. La alia estas la sensilo bazita sur duonkonduktaĵo piezoresistive efiko, kiu estas la ĉefa vario de duonkonduktaĵo premo sensilo. En la fruaj tagoj, duonkonduktaĵaj streĉmezuriloj estis plejparte alkroĉitaj al elastaj elementoj por fari diversajn streĉajn kaj streĉajn mezurinstrumentojn. En la 1960-aj jaroj, kun la evoluo de duonkonduktaĵa integra cirkvito teknologio, aperis duonkondukta premo-sensilo kun difuzrezisto kiel piezoresistiva elemento. Ĉi tiu speco de premo-sensilo havas simplan kaj fidindan strukturon, neniujn relativajn movajn partojn, kaj la premo-sentema elemento kaj elasta elemento de la sensilo estas integritaj, kio evitas mekanikan malfruon kaj rampon kaj plibonigas la rendimenton de la sensilo.

Piezoresistiva efiko de duonkonduktaĵo Semikonduktaĵo havas karakterizaĵon rilatan al ekstera forto, tio estas, la resistiveco (reprezentita per simbolo ρ) ŝanĝiĝas kun la streĉo kiun ĝi portas, kiu estas nomita piezoresistiva efiko. La relativa ŝanĝo de resistiveco sub la ago de unuostreso estas nomita piezoresistiva koeficiento, kiu estas esprimita per la simbolo π. Esprimite matematike kiel ρ/ρ = π σ.

Kie σ reprezentas streson. La ŝanĝo de rezistvaloro (R/R) kaŭzita de duonkondukta rezisto sub streso estas plejparte determinita per la ŝanĝo de resistiveco, do la esprimo de piezoresistiva efiko ankaŭ povas esti skribita kiel R/R=πσ.

Sub la ago de ekstera forto, certa streso (σ) kaj trostreĉiĝo (ε) estas generitaj en duonkonduktaĵokristaloj, kaj la rilato inter ili estas determinita per la modulo de Young (Y) de la materialo, tio estas, Y=σ/ε.

Se la piezoresistiva efiko estas esprimita per la streĉo sur la duonkonduktaĵo, ĝi estas R/R=Gε.

G estas nomita la sentema faktoro de premosensilo, kiu reprezentas la relativan ŝanĝon de rezistvaloro sub unuostreĉo.

Piezoresistiva koeficiento aŭ sentiveca faktoro estas la baza fizika parametro de duonkondukta piezoresistiva efiko. La rilato inter ili, same kiel la rilato inter streĉo kaj streĉiĝo, estas determinita per la modulo de Young de la materialo, tio estas, g = π y.

Pro la anizotropeco de duonkonduktaĵkristaloj en elasteco, la modulo de Young kaj piezoresistiva koeficiento ŝanĝiĝas kun kristalorientiĝo. La grandeco de duonkondukta piezoresistive efiko ankaŭ estas proksime rilatita al la resistiveco de duonkonduktaĵo. Ju pli malalta la resistiveco, des pli malgranda la sentema faktoro. La piezoresistiva efiko de difuzrezisto estas determinita de la kristala orientiĝo kaj malpureca koncentriĝo de difuzrezisto. La malpura koncentriĝo ĉefe rilatas al la surfaca malpura koncentriĝo de la difuza tavolo.