Semikonduktaĵaj premaj sensiloj povas esti dividitaj en du kategoriojn, unu baziĝas sur la principo, ke i-i-trajtoj de semikonduktaĵa PN-krucvojo (aŭ Schottky-krucvojo) ŝanĝiĝas sub streso. La agado de ĉi tiu prema sentema elemento estas tre malstabila kaj ne multe disvolviĝis. La alia estas la sensilo bazita sur duonkondukta piezoresista efiko, kiu estas la ĉefa vario de semikonduktaĵa prema sensilo. En la fruaj tagoj, duonkonduktaj streĉaj mezuriloj estis plejparte ligitaj al elastaj elementoj por fari diversajn streĉojn kaj streĉajn mezurantajn instrumentojn. En 1960 -aj jaroj, kun la disvolviĝo de semikonduktaĵa integra cirkvitteknologio, semikonduktaĵa prema sensilo kun disvastiga rezistilo kiel piezoresista elemento aperis. Ĉi tiu speco de prema sensilo havas simplan kaj fidindan strukturon, neniuj relativaj movaj partoj kaj la prema sentema elemento kaj elasta elemento de la sensilo estas integritaj, kio evitas mekanikan lagon kaj rampon kaj plibonigas la rendimenton de la sensilo.

Piezoresista efiko de duonkondukta semikonduktaĵo havas karakterizaĵon rilatan al ekstera forto, tio estas la rezistiveco (reprezentita per simbolo ρ) ŝanĝoj kun la streĉo, kiun ĝi havas, kiu estas nomata piezoresista efiko. La relativa ŝanĝo de rezistiveco sub la ago de unueca streĉado estas nomata piezoresista koeficiento, kiu estas esprimita per la simbolo π. Esprimita matematike kiel ρ/ρ = π σ.

Kie σ reprezentas streĉon. La ŝanĝo de rezista valoro (r/r) kaŭzita de semikonduktaĵa rezisto sub streso estas ĉefe determinita per la ŝanĝo de rezistiveco, do la esprimo de piezoresista efiko ankaŭ povas esti skribita kiel r/r = πσ.

Sub la ago de ekstera forto, certa streĉo (σ) kaj streĉo (ε) estas generitaj en semikonduktaĵaj kristaloj, kaj la rilato inter ili estas determinita de la modulo de Young (y) de la materialo, tio estas y = σ/ε.

Se la piezoresista efiko estas esprimita per la streĉo sur la duonkonduktaĵo, ĝi estas r/r = gε.

G estas nomata la sentiveca faktoro de prema sensilo, kiu reprezentas la relativan ŝanĝon de rezista valoro sub unueca streĉo.

Piezoresista koeficiento aŭ sentiveca faktoro estas la baza fizika parametro de duonkondukta piezoresista efiko. La rilato inter ili, same kiel la rilato inter streĉo kaj streĉo, estas determinita de la modulo de la junulo de la materialo, tio estas G = π y.

Pro la anisotropio de semikonduktaĵaj kristaloj en elasteco, la modulo de Young kaj piezoresista koeficiento ŝanĝiĝas kun kristala orientiĝo. La grando de duonkondukta piezoresista efiko ankaŭ estas proksime rilata al la rezistiveco de duonkonduktaĵo. Ju pli malalta estas la rezistiveco, des pli malgranda estas la sentiveca faktoro. La piezoresista efiko de disvastiga rezisto estas determinita de la kristala orientiĝo kaj malpura koncentriĝo de disvastiga rezisto. La malpura koncentriĝo ĉefe rilatas al la surfaca malpura koncentriĝo de la disvastiga tavolo.