Aplika al Passat fuelo komuna fervoja premosensilo 06E906051K
Produkta enkonduko
1. Metodo por formi premsensilon, konsistante el:
Disponigante duonkonduktan substraton, en kiu unua intertavola dielektrika tavolo, unua intertavola dielektrika tavolo kaj dua intertavola dielektrika tavolo estas formitaj sur la duonkondukta substrato.
Malsupra elektrodplato en la unua intertavola dielektrika tavolo, unua reciproka elektrodo situanta sur la sama tavolo kiel la pli malalta elektrodplato kaj interspacigita.
Konekti tavolojn;
Formante ofertavolon super la pli malalta polusa plato;
Formante supran elektrodplaton sur la unua intertavola dielektrika tavolo, la unua interkonekta tavolo kaj la ofertavolo;
Post formado de la ofertavolo kaj antaŭ formado de la supra plato, en la unua interkonekttavolo
Formante konektan sulkon, kaj plenigante la konektan sulkon per la supra plato por elektre konekti kun la unua interkoneksa tavolo; Aŭ,
Post formado de la supra elektrodplato, konektaj sulkoj formiĝas en la supra elektrodplato kaj la unua interkonekta tavolo, kiu
Formante konduktan tavolon ligantan la supran elektrodplaton kaj la unuan interkonektan tavolon en la koneksa sulko;
Post elektre konekti la supran teleron kaj la unuan interkonekton tavolon, forigante la ofertavolon por formi kavon.
2. La metodo por formi preman sensilon laŭ la 1a reklamacio, en kiu en la unua tavolo
La metodo por formi la ofertavolon sur la intertavola dielektrika tavolo konsistas el la sekvaj ŝtupoj:
Deponado de ofermateriala tavolo sur la unua intertavola dielektrika tavolo;
Ŝablonigante la ofermaterialan tavolon por formi ofertavolon.
3. La metodo por formi la preman sensilon laŭ la reklamo 2, en kiu estas uzataj fotolitografio kaj gravuraĵo.
La ofermateriala tavolo estas strukturizita per akvaforta procezo.
4. La metodo por formi premsensilon laŭ la reklamo 3, en kiu la ofera tavolo
La materialo estas amorfa karbono aŭ germanio.
5. La metodo por formi premsensilon laŭ la reklamo 4, en kiu la ofera tavolo
La materialo estas amorfa karbono;
Akvafortaj gasoj uzitaj en la procezo de akvaforto de la ofermateriala tavolo inkludas O2, CO, N2 kaj Ar;
La parametroj en la procezo de akvaforto de la ofermateriala tavolo estas: la flua gamo de O2 estas 18 SCCM ~ 22 SCCM, kaj la flukvanto de CO estas 10%.
La flukvanto varias de 90 SCCM ĝis 110 SCCM, la flukvanto de N2 intervalas de 90 SCCM ĝis 110 SCCM, kaj la flukvanto de Ar.
La intervalo estas 90 SCCM ~ 110 SCCM, la prema gamo estas 90 mtor ~ 110 mtor, kaj la biaspotenco estas
540w~660w.
Produkta bildo
Detaloj pri kompanio
Kompanio avantaĝo
Transportado
Oftaj Demandoj
Rilataj produktoj
