Aplikebla al pasata brulaĵo komuna fervoja prema sensilo 06E906051K

1 Metodo por formi preman sensilon, enhavantan:

Provizante duonkonduktan substraton, kie unua interplekta dielektra tavolo, unua interplekta dielektra tavolo kaj dua interplekta dielektra tavolo estas formitaj sur la duonkondukta substrato.

Malsupra elektroda plato en la unua interplekta dielektra tavolo, unua reciproka elektrodo situanta sur la sama tavolo kiel la malsupra elektroda plato kaj interspacigita.

Ligantaj tavoloj;

Formante oferan tavolon super la malsupra polusa plato;

Formante supran elektrodan platon sur la unua interplekta dielektra tavolo, la unua interkonekta tavolo kaj la ofera tavolo;

Post formado de la ofera tavolo kaj antaŭ formado de la supra plato, en la unua interkonekta tavolo

Formante ligan fendon, kaj plenigante la ligan fendon kun la supra plato por elektre konekti kun la unua interkonekta tavolo; Aŭ,

Post formi la supran elektrodan platon, ligantaj fendoj formiĝas en la supra elektroda plato kaj la unua interkonekta tavolo, kiu

Formante konduktan tavolon ligantan la supran elektrodan platon kaj la unuan interkonektan tavolon en la liga fendo;

Post elektre konekti la supran teleron kaj la unuan interkonektan tavolon, forigante la oferan tavolon por formi kavon.

2. La metodo por formi preman sensilon laŭ aserto 1, en kiu en la unua tavolo

La metodo por formi la oferan tavolon sur la interplekta dielektra tavolo enhavas la jenajn paŝojn:

Deponi oferan materialan tavolon sur la unua interplekta dielektra tavolo;

Aranĝante la oferan materialan tavolon por formi oferan tavolon.

3. La metodo por formi la preman sensilon laŭ la aserto 2, en kiu estas uzata fotolitografio kaj gravuraĵo.

La ofera materiala tavolo estas modeligita per akva procezo.

4. La metodo por formi preman sensilon laŭ aserto 3, en kiu la ofera tavolo

La materialo estas amorfa karbono aŭ germanio.

5. La metodo por formi preman sensilon laŭ la aserto 4, en kiu la ofera tavolo

La materialo estas amorfa karbono;

Gravigaj gasoj uzataj en la procezo de gravuri la oferan materialan tavolon inkluzivas O2, CO, N2 kaj AR;

La parametroj en la procezo de gravuri la oferan materialan tavolon estas: la fluo de O2 estas 18 SCCM ~ 22 SCCM, kaj la fluo de CO estas 10%.

La fluokvanto iras de 90 SCCM ĝis 110 SCCM, la fluo de N2 iras de 90 SCCM ĝis 110 SCCM, kaj la fluo de AR.

La gamo estas 90 SCCM ~ 110 SCCM, la prema gamo estas 90 mTOR ~ 110 mTOR, kaj la biasa potenco estas

540W ～ 660W。