Motora premosensilo 2CP3-68 1946725 por elkavatoro Carter

Metodo por prepari premsensilon, karakterizita per konsistado de la sekvaj paŝoj:

S1, provizante oblaton per malantaŭa surfaco kaj antaŭa surfaco; Formante piezoresistivan strion kaj tre dopitan kontaktan areon sur la antaŭa surfaco de la oblato; Formante preman profundan kavon akvafortante la malantaŭan surfacon de la oblato;

S2, ligante subtenan folion sur la dorso de la oblato;

S3, produktante plumbotruojn kaj metaldratojn sur la antaŭa flanko de la oblato, kaj ligante piezoresistive-striojn por formi Wheatstone-ponton;

S4, deponante kaj formante pasivan tavolon sur la antaŭa surfaco de la oblato, kaj malfermante parton de la pasivada tavolo por formi metalan kuseneton. 2. La fabriko-metodo de la prema sensilo laŭ la reklamo 1, en kiu S1 specife konsistas el la sekvaj paŝoj: S11: provizi oblaton kun malantaŭa surfaco kaj antaŭa surfaco, kaj difinante la dikecon de premo-sentema filmo sur la oblato; S12: jon-enplantado estas uzata sur la antaŭa surfaco de la oblato, piezoresistive-strioj estas fabrikitaj per alt-temperatura disvastigprocezo, kaj kontaktoregionoj estas forte dopitaj; S13: deponado kaj formado de protekta tavolo sur la antaŭa surfaco de la oblato; S14: akvaforto kaj formado de prema profunda kavaĵo sur la dorso de la oblato por formi premsenteman filmon. 3. La produktadmetodo de la premosensilo laŭ la reklamacio 1, en kiu la oblato estas SOI.

En 1962, Tufte et al. fabrikis piezoresistivan premosensilon kun disvastigitaj siliciaj piezoresistivaj strioj kaj silicia filmstrukturo unuafoje, kaj komencis la esploradon pri piezoresistiva premosensilo. Fine de la 1960-aj jaroj kaj komenco de la 1970-aj jaroj, la apero de tri teknologioj, nome, silicia anizotropa akvaforta teknologio, jona enplanta teknologio kaj anodika ligado, alportis grandajn ŝanĝojn al la premosensilo, kiu ludis gravan rolon en plibonigo de la rendimento de la premosensilo. . Ekde 1980-aj jaroj, kun la plua evoluo de mikromaŝinado teknologio, kiel ekzemple anizotropa akvaforto, litografio, disvastigo-dopado, jona enplantado, ligado kaj tegaĵo, la grandeco de premo-sensilo estis senĉese reduktita, la sentemo estis plibonigita, kaj la eligo estas alta kaj la agado estas bonega. Samtempe, la disvolviĝo kaj apliko de nova mikromaŝinado teknologio faras la filmo dikeco de premo sentilo precize kontrolita.