Sensilo de motora premo 2cp3-68 1946725 por Carter Excavator

Metodo por prepari preman sensilon, karakterizitan per enhavo de la jenaj paŝoj:

S1, provizante ondeton kun malantaŭa surfaco kaj antaŭa surfaco; Formante piezoresistan strion kaj peze dopitan kontaktan areon sur la antaŭa surfaco de la ondeto; Formante premon profunda kavo per gravito de la malantaŭa surfaco de la ondo;

S2, ligante subtenan folion sur la malantaŭo de la vakso;

S3, fabrikado de plumaj truoj kaj metalaj dratoj sur la antaŭa flanko de la tranĉilo, kaj ligantaj piezoresistajn striojn por formi Wheatstone Bridge;

S4, deponante kaj formante pasivigan tavolon sur la antaŭa surfaco de la ondeto, kaj malfermante parton de la pasiva tavolo por formi metalan kusenan areon. 2. La fabrikada metodo de la prema sensilo laŭ la aserto 1, en kiu S1 specife enhavas la jenajn paŝojn: S11: Provizi skvamon kun malantaŭa surfaco kaj antaŭan surfacon, kaj difini la dikecon de prema sentema filmo sur la ondeto; S12: Ion-enplantado estas uzata sur la antaŭa surfaco de la tranĉilo, piezoresistaj strioj estas fabrikitaj per alt-temperatura disvastiga procezo, kaj kontaktaj regionoj estas peze dopitaj; S13: Deponi kaj formi protektan tavolon sur la antaŭa surfaco de la ondo; S14: Gravuraĵo kaj formado de prema profunda kavo sur la dorso de la ondo por formi premon sentema filmo. 3. La fabrikada metodo de la prema sensilo laŭ la aserto 1, en kiu la ondo estas SOI.

En 1962, Tufte et al. fabrikis piezoresistan preman sensilon kun difuzaj silikaj piezoresistaj strioj kaj silicia filmstrukturo por la unua fojo, kaj komencis la esploradon pri piezoresista prema sensilo. En la malfruaj 1960 -aj jaroj kaj fruaj 1970 -aj jaroj, la apero de tri teknologioj, nome, silicia anisotropa akva teknologio, jona enplantaĵteknologio kaj anodika liganta teknologio, alportis grandajn ŝanĝojn al la prema sensilo, kiu ludis gravan rolon por plibonigi la agadon de la prema sensilo. Ekde 1980 -aj jaroj, kun la plua disvolviĝo de mikromaka teknologio, kiel anisotropa gravuraĵo, litografio, disvastiga dopado, jona enplantado, ligado kaj tegaĵo, la grandeco de prema sensilo estis kontinue reduktita, la sentiveco plibonigis kaj la eligo estas alta kaj la agado estas bonega. Samtempe, la disvolviĝo kaj apliko de nova mikromaka teknologio igas la filmon dikeco de prema sensilo precize kontrolita.